石英鐘罩清洗機是一種專門用于清洗石英鐘罩的設備,通常用于半導體制造過程中,以確保高清潔度。
? 清洗效果卓越,全方位無死角清洗,采用特殊的清洗工藝和噴頭設計,使清洗液均勻地噴灑到鐘罩內的各個部位。
? 對于外延生長過程中產生的微小顆粒和雜質,能實現高精度清洗。
? 避免應力損傷,清洗過程中不會對石英鐘罩產生過大的機械應力或熱應力,防止因應力集中導致鐘罩破裂或變形。
? 自動化程度高,智能操作流程,配備先進的自動化控制系統。
? 可設計為能適應不同尺寸和規格的外延石英鐘罩清洗機,滿足多種生產需求。
? 清洗工藝可根據不同的清洗需求和工藝要求,靈活定制清洗方案。